光學真空鍍膜機我們正常情況稱之為高端真空鍍膜機,它的價格和配置都比常規鍍膜機要求高一些,鍍膜的精度也會要求更嚴格,那么光學真空鍍膜機結構和工作原理是怎樣的呢?下面匯成小編詳細和大家介紹一下,希望能幫助到大家:
光學真空鍍膜機由真空系統、蒸鍍系統、冷卻系統和電氣系統組成,其中真空系統由真空罐和排氣系統組成。真空罐是鍍膜機的主體,鍍膜過程就是在真空罐中完成的,通過連接閥將真空罐和排氣系統相連。為了防止空氣分子對濺射離子的影響、提高膜層的質量,在工作時,必須將光學元件和離子源置于真空環境中。排氣系統主要由機械泵、羅茨泵和真空泵組成,負責排出真空罐內的氣體、使罐內形成真空環境。蒸鍍系統主要指成膜裝置部分,鍍膜機器的成膜裝置有很多種,如電阻加熱、電子槍蒸發、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等。
光學真空鍍膜機通過真空濺射的方式在光學元件上涂鍍薄膜, 以此改變元件對入射光線的反射率和透過率。同時,為了盡可能地減少元件表面的反射損失、提高成像質量,往往涂鍍多層薄膜。光學元件鍍膜后,光在多層膜層的表面進行多次反射和透射,形成多光束干涉,通過控制膜層的厚度和折射率,可以得到不同的強度分布。利用這一原理可以制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等,以滿足更加復雜的需求。