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HCAR系列

車載鍍AR+AF

qipei AR + AF plating
真空應用解決方案提供商
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Coating equipment of vehicle mounted display screen 車載顯示屏鍍膜設備

      旋轉(zhuǎn)陰極裝置與行內(nèi)普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結(jié)構(gòu)定制,給客戶產(chǎn)品擺放達到最大的利用空間;全自動一體的提拉升降的轉(zhuǎn)架裝置,大幅度減少機器開關門時間,大大提高了生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性;匯成專利離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩(wěn)定工作效率,低耗能等特點。

      可利用時間精準控制薄膜厚度,達到設計工藝要求,節(jié)省晶控,光控環(huán)節(jié),為客戶省去大量的膜厚儀耗材;可生產(chǎn)高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應對各種用途;自動調(diào)節(jié)氣體流量專利裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜品質(zhì);可選“校正板外部調(diào)節(jié)機構(gòu)”。

     濺射沉積系統(tǒng)在側(cè)壁上裝有多個圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統(tǒng)配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可最大程度地減少涂層過程中的顆粒污染。

AR 膜(基材玻璃透過率>91.5%):
■  420-680nm波段,單面平均透過率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■  雙面平均透過率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

AS/AF膜測試標準:
■   初始接觸角范圍為 115±5°;
■   鋼絲絨耐摩擦測試標準:用 0000#鋼絲絨,面積為 10*10mm,行程 40 次/分,負載1Kg,5000 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
■   橡皮擦測試標準: 直徑 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,負載1Kg, 2500 次往返摩擦后,接觸角大于 100°;
備注:測試樣片玻璃需為經(jīng)過精密拋光過的觸摸屏蓋板專用玻璃,表面光潔。


優(yōu)勢:

?出色的均勻性
?可實現(xiàn)不同的材料或提高產(chǎn)量
?集成式等離子體源,可提高涂層質(zhì)量并進行基板預清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標利用率,不影響涂層規(guī)格
?簡單的目標交換和易于訪問的系統(tǒng)維護

Product Advantage.

產(chǎn)品特點
HCAR系列車載顯示屏鍍膜設備機包括以下關鍵功能:
  • 緊湊

    占地面積小,易于集成到工廠

  • 專利技術

    匯成自主研發(fā)離子源

  • 精準

    精確監(jiān)控膜厚

  • 低溫技術

    小于70℃低溫狀態(tài)成膜

  • 自動化

    自動調(diào)節(jié)氣體流量

  • 簡單

    易于操作和維護

型號 HCSO-2100
鍍膜區(qū)域 Φ2100x H1200mm
結(jié)構(gòu) 立式單門,整體箱式布局
適用波長 380nm~780nm
轉(zhuǎn)速 0~25RPM(可變)
成膜室抽速 4.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 5.0×10-4Pa
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,In ...
夾具系統(tǒng) 底部中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、皮寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng) DC+MF磁控濺射源+等離子體源
充氣系統(tǒng) MFC+speedflo壓強控制儀
膜厚控制儀 晶控儀
控制系統(tǒng) 工控電腦+觸摸屏
光學薄膜應用 AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、裝飾膜、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

應用案例
型號 HCEB-2700
尺寸(mm) Φ2700 x H1850
結(jié)構(gòu) 立式前開門,SUS304不銹鋼
適用波長 380nm~780nm
轉(zhuǎn)速 0~30RPM(可變 variable)
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa
膜料 Tio2,Ti3o5,H4,Zro2,Zns,Al2o3,Mgf2,Sio2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
夾具系統(tǒng) 中心上旋轉(zhuǎn)傘架,單體或分體
加熱系統(tǒng) 鎧裝加熱器,穩(wěn)定250℃
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 +  + Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、皮寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng) 10KW電源,E型電子槍(270°偏轉(zhuǎn)),穴型、腰型或環(huán)形坩堝,阻抗式蒸發(fā)源,可選射頻/考夫曼型/霍爾型離子源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動壓強控制儀
膜厚控制儀 晶控或光控
控制系統(tǒng) 工控電腦 + PLC + 觸摸屏
光學薄膜應用 AR、UV/IR截止濾光片、AF、硬質(zhì)膜、裝飾膜、ITO膜 、帶通濾光片、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

應用案例
型號 HCAF-1619
尺寸 Φ1600x H1900mm
結(jié)構(gòu) 立式單門,整體箱式布局
抽速 大氣壓至2.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa
夾具系統(tǒng) 底部中心旋轉(zhuǎn)行星式公自傳夾具轉(zhuǎn)軸
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 +  Polycold
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、皮寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng) DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 阻抗式蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng) MFC
膜厚控制系統(tǒng) 晶控
控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏
光學薄膜應用 AF、硬質(zhì)膜、簡單裝飾膜、HR膜等
注:可客制化

Application cases.

應用案例
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